甘志银

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甘志银教授

电　　话027-87542604

邮　　箱ganzhiyin@hust.edu.cn

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个人介绍

甘志银（Gan Zhiyin，Professor），华中科技大学教授。1987在天津南开大学物理系取得学士学位，1990年在北京工业大学应用物理系取得硕士学位。1992年到2002年，先后在北京、深圳以及武汉工作并从事光电领域研究。2003年6月调入麻花星空MV高清免费以及武汉光电国家实验室成为副教授，同时开始攻读博士学位。于2008年被授予物理电子学博士学位，2010年成为教授。目前主要从事计算物理、MEMS/NEMS系统设计及仿真、MEMS制造工艺与设备、半导体工艺设备设计与制造等研究。作为技术带头人主导的MOCVD设备已获得广东省科技厅科技成果鉴定“国际先进”评价，该设备也已进入产业化阶段，实现了市场突破。

研究方向

微纳材料与器件设计与仿真

半导体工艺装备设计与制造

开设课程

微机电系统基础与应用

微纳系统仿真

工程光学

量子力学

科研项目

承担的科研项目：

1. 国家重大科研仪器研制项目“薄膜生长缺陷跨时空尺度原位/实时监测与调控实验装置”（51727901） 2018.01-2022.12  国家自然科学基金重大课题。
2. 广东省项目“芯片制造设备核心部件研发及制造的子课题4英寸MBE系统的研制”  2019.10-2022.10 广东省重大项目

3. MOCVD新型反应腔设计、LED缺陷抑制和量子效率调控（“973计划”2011CB013100-G子课题）2011.11-2016.11 科技部（720万）

4. 半导体照明用生产型MOCVD设备的自主研制（2009A011602004） 2009.10-2012.02 广东省科技厅（150万）     

5. 高产能智能MOCVD设备的研制及产业化（2011A081301007）2011.11-2013.11 广东省科技厅（2000万）      

6. 基于定向生长CNT电磁对准的感应热压键合技术研究51075171 国家自然科学基金面上项目2011.01-2013.12(22.8万)

7. 面向跨微纳尺度MEMS设计的建模仿真平台研究2007AA04Z348 863先进制造领域 2007.12-2009.8 (39万)

8.100lm/W 功率型白光LED 研究和产业化2008AA03A184  863先进制造领域2009.01-2012.12 (40万)

论文专着与专利

代表性著作：

1.  Zhiyin Gan, Dexiu Huang, Xuefang Wang, Dong Lin, Sheng Liu. “Getter free vacuum packaging for MEMS”, Sensors and Actuators A: Physical, 149(1), 2009: 159 ~ 164.  

2.  Tingkai Zhang, Honghai Zhang, Jian Xu, Sheng Liu, Zhiyin Gan. “Study on triple-stack anodic bonding using two electrodes”, Sensors and Actuators A: Physical, 157(1), 2010: 168 ~ 172.  

3.  Hui Cao, Zhiyin Gan, Qiang Lv, Han Yan, Xiaobin Luo, Xiaohui Song and Sheng Liu. “Single-walled carbon nanotube network/poly composite thin film for flow sensor”, Microsystem Technologies, 16(6), 2010: 955 ~ 959.  

4.  C. MingXiang, Y. Xingjian, G. Zhiyin and L. Sheng. "Reliability of Anodically Bonded Silicon－glass Packages", Sensors and Actuators, 120(1), 2005: 291 ~ 295.  

5.  Song X. H., Gan Z. Y., Liu S., Yan H., and Lv Q. (2009), “Computational study of thermocompression bonding of carbon nanotubes to metallic substrates,” Journal of Applied Physics 106:104308.  

6.  Song X. H., Gan Z. Y., Liu S., Yan H., and Lv Q. (2009), “Controllable fabrication of carbon nanotube-polymer hybrid thin film for strain sensing,” Microelectronic Engineering 86:2330-2333.  

7.  Song X. H., Liu S., Yan H., and Gan Z. Y., (2009), “First-principles study on effects of mechanical deformation on outer surface reactivity of carbon nanotubes,” Physica E 41:626-630  

8.  Wang, P., Gan, Z. Y. and Liu, S. (2009), “Improved light extraction of GaN-based light-emitting diodes with surface-patterned ITO,” Optics & Laser Technology 41: 823-826.  

9.  Gan, Z. Y., Yan, H., Song, X. H., Lv, Q., Cao, H., Xu, J. P.,  Liu, S. (2009) “Application of Car-Parrinello Molecular Dynamics to Ga-rich GaN Buffer Layer for Stress Relaxation in GaN Grown Layer,” International Journal of Nonlinear Sciences and Numerical Simulation.10(5): 557-562.  

10. Yan, H., Gan, Z. Y., Song, X. H., Chen, Z. H., Xu, J. P., Liu,S. (2009) , “Adsorption configuration of magnesium on wurtzite gallium nitride surface using first-principles calculations,” Physica B 404:3594-3597.  

11. Yan, H., Gan, Z. Y., Song, X. H., Lv, Q., Xu, J. P., Liu, S. (2009), “Car-Parrinello simulation of initial growth stage of gallium nitride on carbon nanotube,” Physica E 41:1143~1146 .

荣誉获奖

2006年   华中科技大学优秀青年教工

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